等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)各種材料的表面改性處理:清潔、改性、光刻膠灰化等目的。
表面改性:
紙張粘合,塑料粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理
表面活化:
生物材料的表面修飾,印刷涂布或粘接前的表面處理,如紡織品的表面處理
表面刻蝕:
硅的微細(xì)加工,玻璃等太陽能領(lǐng)域的表面刻蝕處理,醫(yī)療器皿表面刻蝕處理
表面接枝:
材料表面特定基團(tuán)的產(chǎn)生和表面活化的固定
表面沉積:
疏水性或親水性層的等離子體聚合沉積
等離子清洗機(jī)容易采用數(shù)控技術(shù),自動(dòng)化程度高;具有高精度的控制裝置,時(shí)間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。廣泛應(yīng)用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領(lǐng)域,是企業(yè)、科研院所進(jìn)行等離子體表面處理的理想設(shè)備。