等離子體是物質的一種狀態(tài),也叫做物質的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔等目的。

　　等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個部分做一個簡述：

　　一、控制單元：

　　目前國內使用的等離子清洗機，包括國外進口的，控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。

　　而控制單元又分為兩個大的部分：

　　 1）電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子，主要的功能作用，前面已經(jīng)提到了，這里就不一一介紹了。

　　 2）系統(tǒng)控制單元：分三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。

　　二、真空腔體：

　　真空腔體主要是分為兩種材質的：

　　 1）不銹鋼真空腔體，

　　 2）石英腔體。

　　三、真空泵：

　　真空泵分為兩種：
          1）干泵 、
           2）油泵。

　　等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、活化和表面準備等,可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質的一種狀態(tài),也叫做物質的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的”活性”組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。