人妻人妇偷人精品免费视频,国产成人无码精品久久二区三区 ,三上悠亚持续高潮40分钟,亚洲AV无码乱码国产精品玩偶

嘉潤萬豐

以質(zhì)量為本,誠信經(jīng)營

服務熱線:18811199509

技術(shù)文章

ARTICLE

當前位置:首頁技術(shù)文章等離子清洗機是如何應用到半導體晶圓工藝中的

等離子清洗機是如何應用到半導體晶圓工藝中的

更新時間:2020-11-16點擊次數(shù):929
  隨著半導體技術(shù)的不斷發(fā)展,對工藝技術(shù)的要求越來越高,特別是對半導體圓片的表面質(zhì)量要求越來越嚴,其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會嚴重影響器件的質(zhì)量和成品率,在目前的集成電路生產(chǎn)中,由于圓片表面沾污問題,仍有50% 以上的材料被損失掉。
 
  在半導體生產(chǎn)工藝中,幾乎每道工序中都需要進行清洗,圓片清洗質(zhì)量的好壞對器件性能有嚴重的影響。正是由于圓片清洗是半導體制造工藝中重要、頻繁的工步,而且其工藝質(zhì)量將直接影響到器件的成品率、性能和可靠性,所以國內(nèi)外各大公司、研究機構(gòu)等對清洗工藝的研究一直在不斷地進行。等離子體清洗作為一種先進的干式清洗技術(shù),具有綠色環(huán)保等特點,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,等離子清洗機也在半導體行業(yè)的應用越來越多。

等離子清洗機


 
  半導體的污染雜質(zhì)和分類
 
  半導體制造中需要一些有機物和無機物參與完成,另外,由于工藝總是在凈化室中由人的參與進行,所以半導體圓片不可避免的被各種雜質(zhì)污染。根據(jù)污染物的來源、性質(zhì)等,大致可分為顆粒、有機物、金屬離子和氧化物四大類。
 
  顆粒:顆粒主要是一些聚合物、光刻膠和蝕刻雜質(zhì)等。這類污染物通常主要依靠范德瓦爾斯吸引力吸附在圓片表面,影響器件光刻工序的幾何圖形的形成及電學參數(shù)。這類污染物的去除方法主要以物理或化學的方法對顆粒進行底切,逐漸減小其與圓片表面的接觸面積,終將其去除。
 
  有機物:有機物雜質(zhì)的來源比較廣泛,如人的皮膚油脂、細菌、機械油、真空脂、光刻膠、清洗溶劑等。這類污染物通常在圓片表面形成有機物薄膜阻止清洗液到達圓片表面,導致圓片表面清洗不*,使得金屬雜質(zhì)等污染物在清洗之后仍完整的保留在圓片表面。這類污染物的去除常常在清洗工序的d一步進行,主要使用硫酸和雙氧水等方法進行。
 
  金屬:半導體工藝中常見的金屬雜質(zhì)有鐵、銅、鋁、鉻、鎢、鈦、鈉、鉀、鋰等,這些雜質(zhì)的來源主要有:各種器皿、管道、化學試劑,以及半導體圓片加工過程中,在形成金屬互連的同時,也產(chǎn)生了各種金屬污染。這類雜質(zhì)的去除常采用化學方法進行,通過各種試劑和化學藥品配制的清洗液與金屬離子反應,形成金屬離子的絡合物,脫離圓片表面。
 
  氧化物:半導體圓片暴露在含氧氣及水的環(huán)境下表面會形成自然氧化層。這層氧化薄膜不但會妨礙半導體制造的許多工步,還包含了某些金屬雜質(zhì),在一定條件下,它們會轉(zhuǎn)移到圓片中形成電學缺陷。這層氧化薄膜的去除常采用稀氫氟酸浸泡完成。
 
  等離子清洗機在半導體晶圓清洗工藝上的應用等離子體清洗具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。但它不能去除碳和其它非揮發(fā)性金屬或金屬氧化物雜質(zhì)。等離子清洗常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。這種清洗技術(shù)在去膠工藝中具有操作方便、效率高、表面干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點,而且它不用酸、堿及有機溶劑等,因此越來越受到人們重視。
返回列表
  • 服務熱線 18811199509
  • 電子郵箱

    jrwf88@163.com

掃碼加微信

Copyright © 2024 嘉潤萬豐(北京)科技有限公司版權(quán)所有    備案號:京ICP備13049909號-2

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    sitemap.xml

国产人成视频| 超级碰在线视频| 一级无码奶水在线观看| 国产v亚洲v天堂无码| 亚洲精品乱码久久久久久动图| 开心激情婷婷| www成人免费| 蜜桃av色欲一区二区三区 | 婷婷五月亚洲| 一本色道av| 午夜精品久久久久久久91蜜桃| 亚洲日本久久| 亚洲一区二区三区加勒比| 97国产黄色| 国产69精品久久久久久| 无码不卡视频| 亚洲熟妇无码精品久久疯| 精品国产VA久久久久久久冰| 国产在线小视频| 就去色综合| 免费看一级一级人妻片| 精品国产91久久久久久无码蜜臀 | 欧美日韩久久精品| 无码人妻丰满熟妇奶水区码| 日韩综合无码| 麻豆成人久久精品二区三区91| 一区二区三区无码免费| 17c14国产一区二区无码| 欧美日二区| www.综合久久| 欧美日韩一区二区三区电影| 亚洲va无码国产精品久久| 久久91精品国产91久久跳舞| 中文字幕av一区二区| 国产欧美日韩黄片| 亚洲无码我不卡| 精品人妻久久久久久888不卡| 亚洲电影一区二区三区| 亚洲三级久久久| 精品伦精品一区二区三区视频| 邻居少妇张开双腿让我爽一夜|