等離子清洗機(jī)的真空度,是影響等離子表面處理效果重要的因素之一。國(guó)內(nèi)品牌的清洗機(jī)常用的真空度壓力單位基本是帕(Pa),但是不同國(guó)外品牌的清洗機(jī)就會(huì)出現(xiàn)托(Torr)、巴(bar)等單位,相互之間如何換算,有的時(shí)候不太容易搞得清楚。今天我們就來梳理一下常見的幾個(gè)真空壓力單位,供大家參考。
1 等離子清洗機(jī)的真空、真空度和壓力單位:
清洗機(jī)是指真空反應(yīng)腔室里面低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體狀態(tài),微觀上來講就是腔體內(nèi)的氣體分子密度小于大氣壓的分子密度,不同的真空狀態(tài)意味著不同的分子密度。
真空度反應(yīng)的是真空狀態(tài)空間氣體的稀薄程度,通常用氣體壓力值來來表示。真空度越高,壓力值越小;真空度越低,壓力值越大。
壓力單位反應(yīng)真空壓力值的大小,由于歷史和習(xí)慣的原因,不同的國(guó)家和地區(qū)使用的單位有所區(qū)別。
2 等離子清洗機(jī)幾種常見的真空壓力單位和相互之間的換算:
國(guó)內(nèi)外品牌清洗機(jī)比較常見的真空壓力單位有3個(gè),即帕斯卡(Pa)、托(Torr)、巴(bar),其中后面兩個(gè)單位歐美系的品牌比較常見。
2-1、帕斯卡(Pa),簡(jiǎn)寫帕,國(guó)際單位制,我國(guó)法定壓力單位,是為紀(jì)念法國(guó)物理學(xué)家與數(shù)學(xué)家帕斯卡而命名。換算關(guān)系如下:
1 帕(Pa)= 7.5×10-3托(Torr)=10-2毫巴(mbar)
2-2 托(Torr),1Torr即1mmHg。Torr 參照國(guó)際單位制(簡(jiǎn)稱SI)制訂的中華人民共和國(guó)法定計(jì)量單位規(guī)定壓強(qiáng)單位為Pa(帕),兩種單位之間換算關(guān)系為1托=133.322帕。換算關(guān)系如下:
1托(Torr)=133.322帕(Pa)=1.33322毫巴(mbar)
2-3 巴(bar),非法定計(jì)量單位,即1平方厘米的面積上受到100萬達(dá)因作用力,壓強(qiáng)就是1巴,合100000帕。
換算關(guān)系如下:
1毫巴(mbar)=7.5×10-1托(Torr)=102帕(Pa)
3 等離子清洗機(jī)真空壓度的測(cè)量:
用來測(cè)量清洗機(jī)真空度的儀器是真空計(jì)(Vacuum Gauge),又名真空表,其度數(shù)反應(yīng)的是清洗機(jī)反應(yīng)腔室內(nèi)氣壓的變化和實(shí)時(shí)的數(shù)值,能否精準(zhǔn)測(cè)量對(duì)等離子表面處理工藝很重要。不同的真空度,等離子體放電狀態(tài)、等離子密度和特性區(qū)別很大。